Analyse de surface

Chap. I : Introduction à la microscopie électronique

• Notion de longueur d’onde et de résolution
• Les différents types d’interactions e- / matière
• Les différents types de signaux émis depuis la surface

Chap. II : les composants du microscope électronique à balayage

• Les systèmes de vide
• Les sources électroniques
• Les lentilles électromagnétiques
• Les aberrations du faisceau
• Les systèmes de détection des signaux

Chap. III : la formation de l’image

• Notion de balayage, grandissement, résolution de l’image
• Profondeur de champ
• Effets des paramètres instrumentaux
• Imagerie SE et BSE
• Limitations et solutions

Chap. IV : les techniques annexes au MEB

• Spectroscopie par dispersion d’énergie (EDS)
• Cathodoluminescence
• Micro-usinage par FIB
• Caractérisation d’orientation : la technique « EBSD ».

Ce cours apporte les connaissances nécessaires à la compréhension du fonctionnement d’un microscope électronique à balayage. Il aborde notamment le principe de l’interaction électron-matière, à l’origine des signaux utilisés pour imager et analyser la surface d’un échantillon. Il apporte enfin les notions théoriques utiles à la pratique expérimentale du MEB en TP.

• Notions d’optique
• Notions de cristallographie

QCM individuel

• Comprendre les mécanismes à l'origine de la formation de l’image en microscopie électronique à balayage
• Aborder les différentes techniques expérimentales disponibles en MEB pour étudier la matière